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主營(yíng)產(chǎn)品:實(shí)驗(yàn)室檢測(cè)設(shè)備,離心機(jī),食品安全檢測(cè)設(shè)備,水質(zhì)分析,紫外可見分光光度計(jì),液氮罐,萬(wàn)分之一天平,離心機(jī)生物實(shí)驗(yàn)室工程,移液器

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等離子灰化機(jī)

等離子灰化機(jī)

更新時(shí)間:2024-06-09

訪問量:1410

廠商性質(zhì):代理商

生產(chǎn)地址:

簡(jiǎn)要描述:
PR500/510等離子灰化機(jī)
高頻輸出 50~500W,反應(yīng)腔 Φ215×305mm
低溫等離子?經(jīng)典桶型。
PR500:手動(dòng)控制 PR510:自動(dòng)觸摸屏控制
低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動(dòng)協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。

PR500/510等離子灰化機(jī)

高頻輸出 50~500W,反應(yīng)腔 Φ215×305mm 

低溫等離子·經(jīng)典桶型。 

PR500:手動(dòng)控制 PR510:自動(dòng)觸摸屏控制

低溫等離子的經(jīng)典款非常具有歷史性。采用自動(dòng)協(xié)調(diào)功能及觸摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設(shè)備。

用途 

● 去除光刻膠

● 部品清洗

● 界面活性處理

● 微研磨

● 硅晶圓,玻璃基板對(duì)應(yīng) 

特征 

● 大口徑(Φ215mm)石英反應(yīng)腔

● 小型一體化設(shè)計(jì)

● 操作簡(jiǎn)單的觸摸屏方式(PR510型) 

規(guī)格 

型號(hào)

PR500

PR510

模式

DP模式,桶型

控制部

高頻輸出功率

Max500W

頻率

13.56MHz

同調(diào)方式

自動(dòng)協(xié)調(diào)

反應(yīng)部

反應(yīng)腔

石英 Φ215×305mm

反應(yīng)氣體

2系統(tǒng)(O2/CF4)

控制

手動(dòng)

觸摸屏自動(dòng)控制

配管材質(zhì)

不銹鋼、特氟龍

外形尺寸

W438×D520×H760mm

參照規(guī)格書

重量

約60kg

參照規(guī)格書

電源

單相AC100V 9A

三相AC200V 8A

 

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